| 摘要 |
Die Erfindung stellt Scheiben (1) für Turbomolekularpumpen vor, die aus einzelnen Teilscheiben (11, 12) bestehen. Diese Teilscheiben sind als Blechkörper ausgebildet, wobei die Schaufeln (31, 32) durch Stanzen und anschließendes Herausdrehen aus der Scheibenebene gebildet wurden. Die Teilscheiben werden so zusammengefügt, dass diese durch die Schaufeln (31, 32) und Schlitze (41, 42) eine gasfördernde Struktur mit optischer Dichtheit bilden. |
