| 摘要 |
<p>본 발명은 수직 선반 및 상기 수직 선반에 설치된 증착 튜브를 구비한 광섬유 모재 제조 장치에 있어서, 상기 증착 튜브 내부로 투입되는 가스가 저장되며, 질소 저장부와 염소 저장부를 포함하여 구성된 가스 저장부와; 밸브 구동 신호에 응답하여 상기 가스 저장부에서 증착 튜브 내부로의 가스공급을 개폐하는 가스 밸브와; 상기 증착 튜브 내부의 공기를 진공 펌핑하기 위한 진공 펌핑부와; 진공 지시 신호에 응답하여 상기 진공 펌핑부와 증착 튜브 사이를 개폐하는 진공 밸브와; 미리 설정된 공정 정보에 따라 상기 밸브 구동 신호 및 진공 지시 신호를 출력하는 공정 제어부와; 상기 증착 튜브 내부에서 배출되는 폐가스를 정화시키는 폐가스 처리부와; 상기 폐가스 처리부와 증착 튜브 사이에 설치되어 폐가스 배출을 개폐시키는 폐가스 밸브를 포함함을 특징으로 하는 광섬유 모재 제조 장치를 제공한다.</p> |
