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发明名称 CAPACITIVE PRESSURE SENSING METHOD AND APPARATUS
摘要
申请公布号 EP0974043(A4) 申请公布日期 2002.05.02
申请号 EP19980912130 申请日期 1998.03.30
申请人 MKS INSTRUMENTS, INC. 发明人 HAASE, WAYNE, C.;CHIZINSKI, PAUL, M.;MINDLIN, LEONID;LAHEY, KERRY, S.
分类号 G01L9/12;(IPC1-7):G01L9/12 主分类号 G01L9/12
代理机构 代理人
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