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Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung zur Flüssigkeitsbehandlung eines definierten Bereichs eines scheibenförmigen Gegenstandes, insbesondere eines Wafers, bei dem eine Maske in einem solchen definierten geringen Abstand zu dem scheibenförmigen Gegenstand gehalten wird, dass Flüssigkeit zwischen der Maske und dem definierten Bereich des scheibenförmigen Gegenstandes durch Kapillarkräfte gehalten werden kann. <IMAGE>
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