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发明名称 PATTERNED HEAT CONDUCTING PHOTOCATHODE FOR ELECTRON BEAM SOURCE
摘要
申请公布号 EP1200977(A2) 申请公布日期 2002.05.02
申请号 EP20000948963 申请日期 2000.07.21
申请人 APPLIED MATERIALS, INC. 发明人 FERNANDEZ, ANDRES;MANKOS, MARIAN;CHANG, TAI-HON, PHILIP;LEE, KIM;COYLE, STEVEN, T.
分类号 H01J9/12;H01J1/34;H01J37/073;H01L21/027;(IPC1-7):H01J37/073 主分类号 H01J9/12
代理机构 代理人
主权项
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