发明名称 光学透镜检测装置之校正方法
摘要 一种光学透镜检测装置之校正方法,用于校正光学透镜检测装置,使其能提供准确的量测。首先将稿件的中心、透镜旋转机构的转轴中心、以及电荷耦合装置的中心对准在一直线上,其次使稿件中心的位置与透镜上下移动的机械轴线重合,接着校正电荷耦合装置的水平,然后在稿件上定义一假想水平线,使此假想水平线、透镜转轴中心、以及电荷耦合装置的扫瞄线共平面,最后校正稿件至电荷耦合装置的距离。
申请公布号 TW485253 申请公布日期 2002.05.01
申请号 TW090102166 申请日期 2001.02.02
申请人 明碁电通股份有限公司 发明人 蓝子轩
分类号 G02B26/10 主分类号 G02B26/10
代理机构 代理人 洪澄文 台北巿信义路四段二七九号三楼
主权项 1.一种光学透镜检测装置之校正方法,该光学透镜检测装置由上而下将一稿件上的图形经过透镜而成像在电荷耦合装置上,且该光学透镜检测装置具有移动及旋转该稿件、透镜、以及电荷耦合装置的机构,该校正方法包括以下步骤:(a)将该稿件的中心、该透镜旋转机构的转轴中心、以及该电荷耦合装置的中心对准在一直线上;(b)使该稿件中心的位置与透镜上下移动的机械轴线重合;(c)校正该电荷耦合装置的水平;(d)在该稿件上定义一假想水平线,使该假想水平线、该透镜转轴中心、以及该电荷耦合装置的扫瞄线共平面;(e)校正该稿件至该电荷耦合装置的距离。2.如申请专利范围第1项所述之光学透镜检测装置之校正方法,其中,步骤(a)系将该透镜旋转,使成像为一圆形轨迹,然后将该电荷耦合装置的中心移动至该圆形轨迹的圆心。3.如申请专利范围第1项所述之光学透镜检测装置之校正方法,其中,步骤(b)系将该透镜沿该机械轴线上下移动,由成像位置的变化来判断该稿件中心相对于该机械轴线的位置,然后将该稿件中心移动于该机械轴线上。4.如申请专利范围第3项所述之光学透镜检测装置之校正方法,其中,步骤(b)系依空间中一组直角座标XYZ来操作,首先于X方向将该稿件中心移动于该机械轴线上,然后在Y方向将该稿件中心移动于该机械轴线上。5.如申请专利范围第1项所述之光学透镜检测装置之校正方法,其中,步骤(c)对该电荷耦合装置水平的调整,系将该透镜旋转180,使该透镜对应于该图形的右边及左边之成像的调变转换函数曲线互换。6.如申请专利范围第1项所述之光学透镜检测装置之校正方法,其中,该稿件上的图形为二个并排相同的三角形,而步骤(d)之该假想水平线被定义为该等三角形底边的平行线。7.如申请专利范围第6项所述之光学透镜检测装置之校正方法,其中,该光学透镜检测装置尚具有一狭长视窗,而该稿件上的图形先经该视窗、然后再经该透镜而成像于该电荷耦合装置上。8.如申请专利范围第7项所述之光学透镜检测装置之校正方法,其中,该光学透镜检测装置系依空间中一组直角座标XYZ的轴向来移动及旋转该稿件、透镜、以及电荷耦合装置,该视窗的纵长方向为X方向,而该上下移动的机械轴线方向即为Z方向,步骤(d)更包括以下步骤:(d1)旋转该电荷耦合装置,使得当该电荷耦合装置沿Y方向移动时,该稿件上的图形经该视窗及透镜的成像会于同一瞬间消失;(d2)旋转该稿件,使得T=L1-L2=0,其中L1.L2为该等三角形成像于该电荷耦合装置上的长度。9.如申请专利范围第1项所述之光学透镜检测装置之校正方法,其中,步骤(e)更包括以下步骤:(e1)列出方程式M1=(TT-C-D)/C…………(1)其中M1为透镜的放大率,以像长除以物长来计算,C为物距,D为透镜的二主平面之间距离,而TT为该稿件至该电荷耦合装置的距离;(e2)将该透镜往上移动一特定距离D1,然后以像长除以物长来计算放大率M2,且M2=(TT-C-D+D1)/(C-D1)………(2)(e3)使该透镜回到原位置后,再将该透镜往下移动一特定距离D2,然后以像长除以物长来计算放大率M3,且M3=(TT-C-D+D2)/(C-D2)………(3)(e4)放大率M1.M2.M3以及移动距离D1.D2为已知,利用上述第(1)(2)(3)式解出该稿件至该电荷耦合装置的距离TT;(e5)将求出的TT値与一预定値相比较,藉以了解偏差量,然后上下调整该稿件的位置,重复步骤(e1)至(e4),直到TT値等于该预定値为止。图式简单说明:第1图系透镜检测装置之立体图;第2图系本发明之校正透镜检测装置之流程图;第3图系依据本发明而说明如何将稿件的中心、透镜旋转机构的转轴中心、以及电荷耦合装置的中心对准在一直线上;第4A图-4C图系依据本发明而说明如何校正稿件中心的位置,使之与透镜上下移动的机械轴线重合;第5A-5I图系依据本发明而说明如何校正电荷耦合装置左右水平;第6A-6E图系依据本发明而说明如何校正使稿件的水平线、透镜转轴中心、以及电荷耦合装置的扫瞄线共平面;第7图系依据本发明而说明如何校正总路径长度。
地址 桃园县龟山乡山莺路一五七号