发明名称
摘要
申请公布号 JP3278407(B2) 申请公布日期 2002.04.30
申请号 JP19990010375 申请日期 1999.01.19
申请人 发明人
分类号 H01L21/027;G03B27/52;G03F7/20;(IPC1-7):H01L21/027 主分类号 H01L21/027
代理机构 代理人
主权项
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