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发明名称
摘要
申请公布号 JP3278265(B2) 申请公布日期 2002.04.30
申请号 JP19930277710 申请日期 1993.10.07
申请人 发明人
分类号 H01L21/205;(IPC1-7):H01L21/205 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
主权项
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