发明名称 STRUKTUREN ERZEUGENDES MATERIAL
摘要
申请公布号 DE69331736(D1) 申请公布日期 2002.04.25
申请号 DE19936031736 申请日期 1993.12.22
申请人 CLARIANT FINANCE (BVI) LTD., ROAD TOWN 发明人 KUDO, TAKANORI;C/O CLARIANT CORPORATION, NEW JERSEY 08876;MASUDA, SEIYA;KINOSHITA, YOSHIAKI;PRZYBILLA, JUERGEN;ENDO, HAJIME;KAWASAKI (SHUEHIRO), NATSUMI;OKAZAKI, HIROSHI
分类号 G03C1/685;G03F7/004;G03F7/028;G03F7/038;G03F7/039;H01L21/027;(IPC1-7):G03F7/028 主分类号 G03C1/685
代理机构 代理人
主权项
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