摘要 |
Die vorliegende Erfindung betrifft verchiedene Verfahren zur Herstellung einer elektrischen Schaltung auf einem Trägerkörper. Auf den Trägerkörper, etwa einen Metallkörper, wird eine erste, elektrisch isolierende Basisschicht durch thermisches Spritzen aufgebracht (220). DOLLAR A Danach wird in einem weiteren Schritt (230) eine zweite, beispielsweise elektrisch leitende Schicht auf die Basisschicht aufgebracht, die dann ihrerseits durch subtraktives Strukturieren (240) gemäß vorbestimmter Schaltstrukturen strukturiert wird. Dadurch, daß die angestrebte Schaltungsstruktur der zweiten Schicht aus dem Vollen abgetragen wird, kann je nach verwendeter Abtragungstechnik eine sehr hohe räumliche Auflösung dieser Strukturen erreicht werden. Ein weiterer Vorteil besteht darin, daß in Großserien fein strukturierte Schaltungen auf Trägerrohlingen wirschaftlich erzeugbar sind, da kein nennenswerter Verschleiß an Masken stattfindet.
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