发明名称 PROCESS OF MANUFACTURING A SEMICONDUCTOR DEVICE INCLUDING A BURIED CHANNEL FIELD EFFECT TRANSISTOR
摘要
申请公布号 EP1198830(A2) 申请公布日期 2002.04.24
申请号 EP20010901153 申请日期 2001.01.15
申请人 KONINKLIJKE PHILIPS ELECTRONICS N.V. 发明人 OSZUSTOWICZ, JEAN-LUC
分类号 H01L29/812;H01L21/28;H01L21/285;H01L21/335;H01L21/338;H01L29/423;H01L29/778;(IPC1-7):H01L21/335 主分类号 H01L29/812
代理机构 代理人
主权项
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