氦检漏器

摘要

本发明提供一种氦检漏器，它在因严重泄漏而在油旋转真空泵(RP2)的油中混入大量He时，能快速降低质量分析部的本底值，有效地再启动检漏。在质量分析部(ANAL)检出超过门限值的测定值时，微机单元(4)判定为严重泄漏并控制使RP2所设镇气口(21)上的电磁阀(GBV)开启一定时间，导入大气，搅拌油中所溶氦气泡，使之加速排出RP2，从而无He倒流ANAL，达到上述效果。$#!

主权项

1.一种氦检漏器，包括：只检测氦的质量分析部、对质量分析部与被检测体均能进行真空抽气的主泵、起该主泵的初级抽气泵作用的油旋转真空泵；其特征在于，在所述油旋转真空泵上备有镇气口，在该镇气口上设置可有选择地开关的电磁阀，同时，设置当用所述质量分析部测定的氦测定值超过预定的门限值时，使所述电磁阀保持一定时间开启的控制手段。