| 主权项 |
2.如申请专利范围第1项所述之前开式晶圆盒开闭装置,其中一蜗轮组之定位片与其对应之栓锁键前段长键呈平行设置,另一蜗轮组之定位片与其对应之栓锁键前段长键呈垂直设置。3.如申请专利范围第1项所述之前开式晶圆盒开闭装置,其中该二定位片系使用二定位梢组来控制定位,该二定位梢组包括有二支第一定位梢及二支第二定位梢,该二支第一定位梢能供该二蜗轮组之定位片分别靠合,促使二定位片彼此保持垂直、二栓锁键之长键彼此保持平行且位于第一位置,该二支第二定位梢能供该二蜗轮组之定位片分别靠合,促使二定位片彼此保持垂直、二栓锁键之长键彼此保持平行且位于第二位置。4.如申请专利范围第3项所述之前开式晶圆盒开闭装置,其中该二定位片分别靠合于该二第一定位梢,且该二栓锁键之长键旋转至第一位置时,恰可关闭该前开式晶圆盒之盒盖。5.如申请专利范围第3项所述之前开式晶圆盒开闭装置,其中该二定位片分别靠合于该二第二定位梢,且该二栓锁键之长键旋转至第二位置时,恰可开启该前开式晶圆盒之盒盖。6.如申请专利范围第1项所述之前开式晶圆盒开闭装置,其中该传动轴二端之固定件系锁付螺丝。7.如申请专利范围第1项所述之前开式晶圆盒开闭装置,其中该传动轴上设有一皮带轮,该马达系利用一皮带带动该皮带轮直接驱动传动轴旋转。8.如申请专利范围第1项所述之前开式晶圆盒开闭装置,其中该传动轴上设有一齿轮,另有一转轴以其齿轮啮合于该传动轴之齿轮,该马达系利用一皮带带动转轴上之皮带轮间接驱动传动轴旋转。9.如申请专利范围第1项所述之前开式晶圆盒开闭装置,其中该马达系一双轴式马达,该传动轴分成第一传动轴、第二传动轴,并以联轴器与该马达联接。10.如申请专利范围第1项所述之前开式晶圆盒开闭装置,其中该马达系一步进马达。11.如申请专利范围第1项所述之前开式晶圆盒开闭装置,其中该马达系一伺服马达。12.如申请专利范围第1项所述之前开式晶圆盒开闭装置,其中该马达系一直流马达。13.如申请专利范围第1项所述之前开式晶圆盒开闭装置,其尚包括二轴承组供该二栓锁键枢设,每一轴承组包括有一轴承座,并于轴承座内组设有至少一轴承。14.如申请专利范围第13项所述之前开式晶圆盒开闭装置,其中每一轴承组尚有一间隔环组设于该等轴承之间。15.如申请专利范围第1项所述之前开式晶圆盒开闭装置,其中该蜗轮组衬垫之作用孔,及栓锁键中段之作用部系呈方形。16.如申请专利范围第1项所述之前开式晶圆盒开闭装置,其中该蜗轮组之定位片系以螺丝螺固于衬垫长槽上。17.如申请专利范围第1项所述之前开式晶圆盒开闭装置,其中该栓锁键前段之长键系一T形键。18.如申请专利范围第1项所述之前开式晶圆盒开闭装置,其尚包括有复数个感测器,用以感测并控制该马达运转。19.如申请专利范围第18项所述之前开式晶圆盒开闭装置,其中感测器与定位片在第一定位梢接触时为感测起始点。20.如申请专利范围第1项所述之前开式晶圆盒开闭装置,其中该蜗轮系由塑胶材质所制成。图式简单说明:第1图系一晶圆载入机前方之立体图。第2图系本创作实施例组设于晶圆载入机阜门后表面之正视图。第3图系本创作实施例之立体分解图。第4图系本创作实施例之剖视图。第5图系本创作另一实施例组设于晶圆载入机阜门后表面之正视图。第6图系本创作又一实施例组设于晶圆载入机阜门后表面之正视图。 |
