| 摘要 |
<p>본 발명은 반도체 제조 공정에 사용되는 웨이퍼 고정 장치에 관한 것으로 특히 웨이퍼 고정시 웨이퍼의 측면과 클램프가 접촉하게하여 웨이퍼 표면의 치핑(Chipping) 및 긁힘 등을 방지하고, 웨이퍼 안치시 정확한 위치를 유지하게 하는 웨이퍼 고정 장치에 관한 것이다. 본 발명은 공정쳄버 내에 설치되어 웨이퍼를 안착시키는 웨이퍼 안착 수단과, 웨이퍼 안착수단의 주연에 일정간격을 두고 결합핀으로 회전 가능하도록 다수개 설치되어 웨이퍼를 고정 및 해제하는 클램프와, 클램프의 하부에 설치되어 상하로 구동하면서 상승시 클램프를 밀어 웨이퍼의 고정해제방향으로 일정 각도만큼 회전시키는 클램프 작동바와, 에어의 인/아웃을 조절하는 에어 컨트롤러에 연결된 에어 라인의 상부에 설치되어 에어의 인/아웃에 따라 상하로 이동하면서 클램프 작동바를 상하로 구동시키는 피스톤과, 피스톤에 일측이 연결되고 타측은 클램프 작동바에 연결된 피스톤 로드와, 클램프 작동바 및 피스톤, 피스톤 로드를 수용하며 공정챔버 내의 진공 유지 및 피스톤 실린더 역할을 하는 벨로우즈와, 상승된 클램프 작동바를 하강시켜 웨이퍼의 고정 해제방향으로 회전된 클램프를 웨이퍼의 고정방향으로 복원시키는 클램프 복원수단을 포함하여 구성된다.</p> |
