发明名称 METHOD FOR FORMING METALLIC FILM AND APPARATUS FOR FORMING THE SAME
摘要
申请公布号 KR20020028882(A) 申请公布日期 2002.04.17
申请号 KR1020017015143 申请日期 2001.11.26
申请人 发明人
分类号 C23C16/513 主分类号 C23C16/513
代理机构 代理人
主权项
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