发明名称 SIDEWALL POLYMER FORMING GAS ADDITIVES FOR ETCHING PROCESSES
摘要
申请公布号 KR20020027520(A) 申请公布日期 2002.04.13
申请号 KR1020027001501 申请日期 2002.02.02
申请人 发明人
分类号 H01L21/3065 主分类号 H01L21/3065
代理机构 代理人
主权项
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