| 主权项 |
1.一种离子植入装置,该装置包含有:一真空室,其具有一开孔形成于其一侧,用来辐射离子束;一扫描轴,其使一第一驱动马达倾斜来转动;用来改变扫描轴斜率之扫描轴安装构件;水平维持构件,其具有与一俯仰构件耦合之一水平转换构件,该水平维持构件根据第一驱动马达之操作而升起,用来向前或向后移动到水平方向;垂直维持构件,其具有与水平转换构件之一尾端耦合的一垂直转换构件,用来升起到垂直方向;以及一安装于垂直转换构件之一尾端的倾卸装置,用来装载或卸载晶圆。2.如申请专利范围第1项之装置,其中扫描轴维持构件包含有:一形成于扫描轴之一尾端之齿轮部分,该齿轮部分于一固定构件与一铰链插销耦合,用来转动;一与齿轮部分互相啮合的马达齿轮;以及一第二驱动马达,来向前或向后转动马达齿轮。3.如申请专利范围第1项之装置,其中水平维持构件包含有:一安装于一俯仰构件之圆柱;以及一第三驱动马达,该马达以螺纹轴旋转固定于水平转换构件,该螺纹轴与圆柱之一尾端耦合,用来向前或向后转动。4.如申请专利范围第1项之装置,其中该垂直维持构件包含有:一安装于水平转换构件之一尾端的圆柱;以及一第四驱动马达,该马达以一螺纹轴旋转固定于垂直转换构件,该螺纹轴配置于圆柱之一尾端,用来向前或向后转动。5.如申请专利范围第1项之装置,其中连接构件系包括水平与垂直维持构件之间,用来维持垂直维持构件之角度者。6.如申请专利范围第5项之装置,其中连接构件包含有:一第五驱动马达,该马达具有一穿透到水平转换构件之尾端的转动轴;以及一位于转动轴之一尾端的突出部分,且该突出部分突出到垂直维持构件之一侧。图式简单说明:第1图系为一简图,用来显示一习用之离子植入装置;第2图系为一简图,用来显示一本发明之离子植入装置;第3图系为一部份透视图,用来显示一扫描轴之耦合状态,该扫描轴系为本发明之一重要零件;第4图系为一横截面图,用来显示水平维持构件之结构,该水平维持构件系为本发明之一重要零件;第5图系为一横截面图,用来显示垂直维持构件之结构,该垂直维持构件系为本发明之一重要零件;第6图系为一部份横截面图,用来显示水平与垂直维持构件之耦合状态,该水平与垂直维持构件系为本发明之重要零件;第7图显示本发明之一离子植入装置中,一晶圆之装载或卸载状态;且第8图显示于本发明之一离子植入装置中移动一晶圆之操作状态。 |
