| 主权项 |
1.一种乾膜退洗设备,系包括有:一回转带,其系介于第一传动轮以及第二传动轮之间作动力传递之机构;以及一自动供给出入料机构,其系设有一枢轴与回转带相连接,包括有一置板以及一夹板,利用重力以提供适当开启或闭合之功效,使一基板得到置放固定夹持以及开启取出。2.如申请专利范围第1项所述之乾膜退洗设备,其中该基板系为外部设有绿漆以及电路布局之电路板。3.如申请专利范围第1项所述之乾膜退洗设备,其中该自动供给出入料机构更包括有一吸嘴式收放机构,该吸嘴式收放机构可辨识吸取基板,以防止基板表面刮伤,且于入料放置加以中心定位。4.一种乾膜退洗设备,系包括有:一药液浸泡单元,其系至少设一浸泡槽,该浸泡槽为内部具有一容置空间,可提供置放一药液之容器,更设有一基板置于药液中,且可利用蒸汽加热以及空气搅拌,使该药液温度加热至第一温度;一药液清除单元,其系将基板表面药液中和及清除;一残留物清除单元,其系清除基板表面之残留物,使基板表面保持净洁:一乾燥单元,其系实施去除基板水分之机构;以及一回转带,其系连接以上各单元之传递机构,使基板固定放置各单元内,且能使基板移动于以上各单元间。5.如申请专利范围第4项所述之乾膜退洗设备,其中该基板系为外部设有绿漆以及电路布局之电路板。6.如申请专利范围第4项所述之乾膜退洗设备,其中该药液浸泡单元更包括有一副槽,该副槽系利用一管线与浸泡槽相连接,以提供药液流通且加热药液至第二温度。7.如申请专利范围第4项所述之乾膜退洗设备,其中更包括一硷液清洗单元,其系介于药液浸泡单元以及药液清除单元之间,利用喷嘴产生高压处理基板表面。8.如申请专利范围第7项所述之乾膜退洗设备,其中喷嘴系利用带式过滤与滤心过滤,以防止阻塞。9.如申请专利范围第4项所述之乾膜退洗设备,其中药液清除单元,更包括有:一高压自来水清洗区,其系利用喷嘴产生高压冲净药液;一常压自来水清洗区,其系利用自来水将基板洗净;以及一酸液清洗区,其系利用酸液将药液中和。10.如申请专利范围第9项所述之乾膜退洗设备,其中喷嘴系利用带式过滤与滤心过滤,以防止阻塞。11.如申请专利范围第4项所述之乾膜退洗设备,其中残留物清除单元,更包括有:一溶剂浸泡区,其系将基板表面残留物清除;一常压自来水清洗区,其系利用自来水将基板洗净;以及一纯水清洗区,其系利用纯水清洁基板表面。12.如申请专利范围第4项所述之乾膜退洗设备,其中乾燥单元,更包括有:一吸乾区,系吸取基板表面水分;一吹乾区,系将基板表面施以冷风乾燥;以及一烘乾区,系将基板表面施以热风乾燥。13.一种乾膜退洗方法,其步骤包括有:(a)将一基板放置入,一自动供给出入料装置,该自动供给出入料装置设有一置板以及一夹板,使置板及夹板相闭合以夹持该基板;(b)移动该自动供给出入料装置至一浸泡槽,浸泡槽系为内部具有一容置空间,可提供置放药液之容器,且可利用蒸汽加热以及空气搅拌,使该药液温度加热至第一温度,将基板浸入药液中一适当时间;(c)将基板施以附有喷嘴之高压硷液清洗,使绿漆加以剥离;(d)清除基板表面之药液;(e)清除基板表面之残留之绿漆;(f)实施基板乾燥;(g)开启自动供给出入料装置,使基板开启取出。14.如申请专利范围第13项所述之乾膜退洗方法,其中自动供给出入料装置更设有一吸嘴式收放机构,其系辨识吸取基板,于基板放置自动供给出入料装置加以中心定位,且于开启自动供给出入料装置,便于吸取基板及防止基板刮伤。15.如申请专利范围第13项所述之乾膜退洗方法,其中步骤(b)之浸泡槽更包括有一副槽,该副槽系利用管线与浸泡槽相连接,以提供药液流通且加热药液至第二温度后送回浸泡槽,制程结束药液系回副槽。16.如申请专利范围第13项所述之乾膜退洗方法,其中步骤(c)之喷嘴系利用带式过滤与滤心过滤。17.如申请专利范围第13项所述之乾膜退洗方法,其中步骤(d)清除基板表面之药液系将基板作高压自来水清洗后作常压自来水清洗,加以酸液清洗以中和药液,再施以常压自来水清洗。18.如申请专利范围第13项所述之乾膜退洗方法,其中步骤(e)清除基板表面之残留之绿漆系将基板施以溶剂浸泡后作常压自来水清洗,再施以纯水清洗。19.如申请专利范围第13项所述之乾膜退洗方法,其中步骤(f)实施基板乾燥系将基板作吸乾、吹乾以及烘乾之处理。图式简单说明:图一系本发明乾膜退洗方法实施例。图二系本发明回转带及乾膜退洗设备实施例。图三A系本发明自动供给出入料机构开启之基板置放较佳实施例。图三B系本发明自动供给出入料机构闭合夹持基板之较佳实施例。图三C系本发明自动供给出入料机构开启之基板取出前较佳实施例。图四A系本发明浸泡槽制程实施时之较佳实施例。图四B系本发明浸泡槽制程结束时之较佳实施例。 |
