发明名称 晶粒覆晶取放装置
摘要 本创作所为晶粒覆晶取放装置设计,其主要系于基座前端所设之旋转台其偏离中位置处,以一直线移动机构连设具有一取放机构,该取放机构乃系藉由一前端固设具有偏心轮之马达所牵动而呈上下移位作动,惟该马达系以一台板架设于基座两侧板之前端,使其心轴恰可与旋转台之旋转轴心形成同轴状态,藉此整合机构设计与适当控制马达,使覆晶取放装置能达成高速、高精度之取放动作。
申请公布号 TW483585 申请公布日期 2002.04.11
申请号 TW090206703 申请日期 2001.04.26
申请人 章明;谢新协 桃园市平镇市中丰路南势二段四五七巷二十一弄十七号;林高辉 桃园县中坜巿和祥街八十六号六楼;陈东星 新竹县新埔镇新芎路一段一八二巷一一一弄八号 发明人 章明;谢新协;林高辉;陈东星
分类号 H01L21/68 主分类号 H01L21/68
代理机构 代理人 罗行 台北巿巿民大道四段二一三号七楼
主权项 1.一种晶粒覆晶取放装置,其构成主要系包括一基座、两侧板、一旋转台、一直线移动机构、一取放机构、一马达等,惟其特征在于:该取放机构于其对应旋转台之旋转中心处乃设有一传动件,而该马达系藉由一台板另行独立架设于基座两侧板之前端,令该马达前方动力输出端结设之凸轮恰可配合传动件而形成套置组合,藉此分离式之整合组成,即可使旋转台之载重降低,且可迳自稳固地翻转覆晶而具有高速度、高精度之取放动作者。2.如申请专利范围第1项所述之晶粒覆晶取放装置;其中,该马达之轴心系与基座之旋转心轴形成同轴状态者。3.如申请专利范围第1项所述之晶粒覆晶取放装置;其中,基座背面马达之型式系采用步进马达或伺服马达。4.如申请专利范围第3项所述之晶粒覆晶取放装置;其中,该马达之心轴系可制成中空状者。5.如申请专利范围第4项所述之晶粒覆晶取放装置;其中,系于该马达之心轴前端面加设有一接头,并将一供气管自接头牵设至取放机构下方之吸嘴,使气源可利用中空心轴自后方向前输出导引至吸嘴者。图式简单说明:第1图为习用覆晶机其取放装置之上视图。第2图为本创作之分解立体图。第3图为本创作之立体组合图。第4图为取放机构于吸取晶粒前之位置示意图。第5图为取放机构于吸取晶粒后翻转至另一侧之位置示意图。
地址 桃园县中坜市九和三街三十号十楼之一