半导体无尘室用空调系统

摘要

根据本发明之半导体无尘室用空气调节系统被提供具有化学性滤清器在介于包括增湿机之空气调节器与该无尘室之ULPA滤清器之间，以从该增湿机所提供之湿气来离子化化学杂质而后藉该化学滤清器来吸收这些化学杂质。本发明被设计成装设化学性滤清器在该增湿机的背后，该增湿机施加磷酸来防止生垢(scale-formation)并且也防止该磷酸与新鲜空气混合而成为新的化学杂质，其使得空气的温度及湿度之调节有效而无需应用特殊且昂贵的纯净蒸气系统和与其性质相似之系统。

主权项

1.一种半导体无尘室用空气调节系统,其系被设计 以提供新鲜空气至该无尘室,并包括: 一被设置在该无尘室的上侧部份之ULPA(超低渗透 性空气)滤清器; 一再循环空气输送管系连接该无尘室的下侧部份 以及该ULPA滤清器,用以再循环从该无尘室流出的 空气而再利用于该无尘室中; 一包含一增湿机以及一除湿机用以调节空气之湿 度的空气调节器; 一位于该空气调节器以及该再循环空气输送管之 间的新鲜空气输送管;以及 一配置位于该增湿机的下游方向上、在该新鲜空 气输送管中之用以除去内含在该新鲜空气中的包 括二氧化硫SO2.二氧化氮NO2以及磷酸H3PO4之化学分 子杂质的化学性离子交换滤清器。2.如申请专利 范围第1项的空气调节系统,其更包含一具有节气 闸壳体之新鲜空气供应节气闸,该新鲜空气供应节 气闸系位于该无尘室的下侧部份,用以再循环在该 无尘室中的新鲜空气、或用以从该无尘室移去该 新鲜空气。3.如申请专利范围第2项的空气调节系 统,其更包含一或多个配置在该新鲜空气供应节气 闸的节气闸壳体中之化学性离子交换滤清器。图 式简单说明: 图1系习知技术之半导体无尘室用空气调节系统的 示意方块图; 图2系习知技术之半导体无尘室用空气调节器的示 意结构图; 图3系根据本发明之实施例的半导体无尘室用空气 调节系统之示意方块图;及 图4系例举说明经由在本发明中所应用之化学性滤 清器来吸收化学杂质的示意结构图。