发明名称 Verfahren zur Herstellung einer CMOS Vorrichtung
摘要
申请公布号 DE69522139(T2) 申请公布日期 2002.04.11
申请号 DE19956022139T 申请日期 1995.05.17
申请人 SAMSUNG ELECTRONICS CO., LTD. 发明人 KIM, DONG-JUN;CHOI, JEONG-HYUK
分类号 H01L21/8238;H01L27/092;(IPC1-7):H01L21/823 主分类号 H01L21/8238
代理机构 代理人
主权项
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