| 发明名称 |
Verfahren zum Herstellen eines Kondensators mit einer ferroelektrischen Schicht für nichtflüchtige Speicherzelle |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE69619610(D1) |
申请公布日期 |
2002.04.11 |
| 申请号 |
DE19966019610 |
申请日期 |
1996.09.26 |
| 申请人 |
SONY CORP., TOKIO/TOKYO |
发明人 |
YAMOTO, HISAYOSHI;OCHIAI, AKIHIKO |
| 分类号 |
H01L27/04;H01L21/02;H01L21/314;H01L21/822;H01L21/8242;H01L21/8246;H01L27/105;H01L27/108;H01L27/115;(IPC1-7):H01L29/92;H01L21/320 |
主分类号 |
H01L27/04 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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