摘要 |
Die Erfindung bezieht sich auf Anordnungen, bei denen Röntgenstrahlung mit einer mittleren Propagationsrichtung (245) auf einen Diffraktionskörper (201) gelenkt wird, welcher eine Oberfläche besitzt, die eine mittlere Oberflächenebene definiert und mit Strukturen (205) versehen ist. Dabei sind die Strukturen (205) bezüglich einer Translationsrichtung (241) im Wesentlichen translationssymmetrisch. Die Erfindung zeichnet sich nun dadurch aus, dass die Röntgenstrahlung so auf den Diffraktionskörper (201) gelenkt wird, dass die Oberflächennormale (243) dieser Oberflächenebene um eine zu der Translationsrichtung (241) und zu der mittleren Propagationsrichtung (245) senkrechte Achse (247) gegen die mittlere Propagationsrichtung (245) um einen Winkel PHI verkippt ist. Dadurch erhöht sich die effektive Höhe der Strukturen um 1/cos( PHI ).
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