发明名称 Verfahren zum Herstellen einer Elektrode
摘要
申请公布号 DE19831529(C2) 申请公布日期 2002.04.11
申请号 DE1998131529 申请日期 1998.07.14
申请人 MICRONAS GMBH 发明人 IGEL, GUENTER
分类号 C12N13/00;G01N27/30;G01N27/403;(IPC1-7):G01N27/30;H01L21/28;H01L21/306 主分类号 C12N13/00
代理机构 代理人
主权项
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