| 发明名称 |
VERFAHREN UND VORRICHTUNG ZUR FEHLERKORREKTUR EINES HETERODYN-INTERFEROMETERS |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE59706568(D1) |
申请公布日期 |
2002.04.11 |
| 申请号 |
DE19975006568 |
申请日期 |
1997.06.17 |
| 申请人 |
LEICA MICROSYSTEMS WETZLAR GMBH |
发明人 |
RINN, KLAUS |
| 分类号 |
G01B9/02;(IPC1-7):G01B9/02 |
主分类号 |
G01B9/02 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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