| 摘要 |
<p>본 발명은 마멸량 계산 방법 및 그 장치를 개시한다. 본 발명은 물체의 마멸전의 표면 형상을 소정의 복수의 위치에서 측정하고, 그 물체가 마멸된 후에 소정의 위치와 실질적으로 같은 위치에서 물체의 표면 형상을 측정하는 단계, 마멸 전의 표면 형상과 마멸 후의 표면 형상의 높이 값을 결정하는 단계, 측정된 마멸 전과 마멸 후의 표면 형상을 비교하여 가장 마멸이 되지 않은 부분에서 마멸 전과 마멸 후의 표면 형상의 높이 값의 차를 최소로 하는 표면 형상의 파상도 성분과 거칠기 성분을 검출하는 단계, 검출된 파상도 성분과 거칠기 성분을 합성하여 마멸 전의 추정된 표면 형상을 구하는 단계 및 추정 표면 형상으로부터 마멸 단면적을 계산하고, 마멸 단면적에서 마멸량을 계산하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 한다. 본 발명에 의하면, 마멸 후의 표면 형상과 마멸 전의 표면 형상의 파상도와 거칠기 성분을 분리하여, 마멸이 되지 않은 부분에서 각각의 오차가 가장 작은 성분을 구한 후, 합성하여 마멸이 된 부분의 마멸 전의 형상을 정밀하게 추정하고, 추정된 형상을 이용하여 마멸량으로 계산함으로 해서, 마멸량 외에도 표면 거칠기 성분까지 추정하는 것이 가능하게 되어, 종래에는 측정하기 힘든 길들이기 과정에서 발생하는 미소 마멸량의 계산도 가능하게 된다.</p> |
