Optisches Beleuchtungssystem in einer Belichtungseinheit

摘要

In einem optischen Beleuchtungssystem in einer Belichtungseinheit (10), bei der ein Maskenmuster (16) auf einen Rezeptor (18) mit einem Belichtungslicht übertragen wird, das von einer Beleuchtungslichtquelle (110) abgestrahlt und von einem elliptischen Spiegel (120) reflektiert wird, wird Licht von dem elliptischen Spiegel (120) reflektiert, das schräg bis zu einem Winkel von mehr als 30 DEG auf einer Unterseite bezüglich einer Linie (H) verteilt ist, die durch die Mitte (O) der Beleuchtungslichtquelle (110) verläuft (Fig. 1).