DEVICE FOR THE OPTICAL INSPECTION OF AN OBJECT SURFACE THAT IS TO BE CHECKED FOR DEFECTS
摘要
<p>Einrichtung (1) für optische Inspektion einer Oberfläche eines Objekts (10) mit einer Zeilenkamera (5) und mit einem der Mikroskopoptik (2) zugeordneten Beleuchtungssystem mit lasernaher Strahlung.</p>
