发明名称 Method for heating a work piece, in particular an optical element
摘要 <p>Bei einem Verfahren zum Aufheizen von Werkstücken, insbesondere von optischen Elementen, wie Linsen, insbesondere von Linsen aus Kalziumfluorid-Material, die über einen großen IR-Wellenlängenbereich bis ca. 9 µm optisch transparent sind, findet die Aufheizung von Wärmestrahlung im Übergangsbereich des optischen Elementes zwischen optischer Transparenz und optisch absorbierendem Bereich in einem Wellenlängenbereich von 9 bis 12 µm statt. &lt;IMAGE&gt;</p>
申请公布号 EP1188545(A2) 申请公布日期 2002.03.20
申请号 EP20010119484 申请日期 2001.08.14
申请人 CARL ZEISS SMT AG 发明人 ULLMANN, JENS, DR.;KUSCHNEREIT, RALF, DR.
分类号 C30B33/02;G02B1/10;B23K26/40;C30B29/12;G02B1/02;(IPC1-7):G02B1/12;B23K26/00;B29D11/00;H05B6/80 主分类号 C30B33/02
代理机构 代理人
主权项
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