| 发明名称 |
DIFFERENTIAL TRENCH OPEN PROCESS |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP1186013(A1) |
申请公布日期 |
2002.03.13 |
| 申请号 |
EP20000926288 |
申请日期 |
2000.04.20 |
| 申请人 |
INFINEON TECHNOLOGIES NORTH AMERICA CORP. |
发明人 |
LEE, BRIAN, S. |
| 分类号 |
G03F7/11;G03F7/40;H01L21/027;H01L21/033;H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/308;H01L21/311;H01L21/8242;H01L27/108;(IPC1-7):H01L21/308 |
主分类号 |
G03F7/11 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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