离子植入系统

摘要

一种离子植入系统包含一离子束产生器、一质量分离装置、一固持装置以及一第一侦测器。离子束产生器用以产生一第一离子束。质量分离装置用以自第一离子束中分离出包含所需离子之一第二离子束。固持装置用以固持至少一基材。固持装置以及第一侦测器相对于第二离子束沿一第一方向相对往复移动，使基材以及第一侦测器通过第二离子束之一投射区域，其中，第一侦测器用以取得第二离子束之一相关参数。上述系统可在进行离子植入时取得离子束之相关参数，以使系统可立即调整制程参数而有较佳之离子植入效果。

主权项

一种离子植入系统，包含：一离子束产生器，其用以产生一第一离子束；一质量分离装置，其设置于该第一离子束之下游，用以自该第一离子束中分离出包含所需离子之一第二离子束；一固持装置，其设置于该第二离子束之下游，用以固持多个基材，其中，该固持装置以及该第二离子束沿一第一方向相对往复移动，使该多个基材通过该第二离子束之一投射区域且该多个基材沿着该第一方向彼此并列排列；以及一第一侦测器，其相对于该第二离子束往复移动，并通过该第二离子束之该投射区域，以在离子植入时取得该第二离子束之一参数，其中能够独立于该固持装置而操作。