| 摘要 |
<p>충분한 비선형 광학 특성을 구비하며, 유리기판(12)이 진공증착실(10) 내부에 배치되고 하스라이너(hearth liner)(14) 위에 위치한 SiO-GeO계 유리에 전자빔을 조사하여 상기 기판(12)의 표면에 SiO-GeO계 박막을 형성하는, 실리카 유리계의 비선형 광학 박막 제조방법. 이 방법을 적용할 때, 예를 들면, 이온원으로부터 방출된 아르곤 이온은 증착된 SiO-GeO계 박막에 쌍극자를 형성한다. 그렇게 형성된 SiO-GeO계 박막에 전계를 인가함으로써, 쌍극자들이 배향되고 박막은 비선형 광학 특성을 나타낸다.</p> |
