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发明名称 Cleaning of semiconductor process equipment chamber parts using organic solvents
摘要
申请公布号 AU8862901(A) 申请公布日期 2002.03.13
申请号 AU20010088629 申请日期 2001.08.31
申请人 CHEMTRACE, INC. 发明人 SAMANTHA TAN;NING CHEN
分类号 B08B1/02;B08B3/00;B08B3/04;B08B5/04;C23C16/44;C23G1/02;C23G5/00;C23G5/02;C23G5/028;C23G5/036;H01L 主分类号 B08B1/02
代理机构 代理人
主权项
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