发明名称 METHOD OF FABRICATING A SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 EP1185894(A1) 申请公布日期 2002.03.13
申请号 EP20000937038 申请日期 2000.06.02
申请人 QINETIQ LIMITED 发明人 MARTIN, TREVOR;BALMER, RICHARD, STUART;AYLING, STEPHEN, GERARD;MACLEAN, JESSICA, OWENS;HEATON, JOHN, MICHAEL
分类号 G02B6/12;G02B6/122;G02B6/13;H01L21/205;(IPC1-7):G02B6/132 主分类号 G02B6/12
代理机构 代理人
主权项
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