化学机械研磨机台

摘要

一种化学机械研磨机台，包括多个研磨台，呈同心圆环状配置，彼此以一间距相邻，设于旋转座上，并以同一方向旋转；在各研磨台上，装有形状相符的研磨垫；以及一分送管，置于研磨垫上方，分送管未与研磨垫相接触，分送管包括分送管柄与分送管面，分送管面上有多个孔洞，用以输送研浆至研磨垫上，各研磨台具有相同的切线速度，以提高晶片表面的研磨均匀度，各研磨垫材料之间可略有差异，包括材料密度、粗糙程度与化学成份方面。$#!

主权项

1.一种化学机械研磨机台，其特征在于，该机台包括：多个研磨台，呈同心圆环状配置，彼此以一间距相邻，分别设于一旋转座上，并均以一方向旋转，该各研磨台具有相同的切线研磨速度；多个研磨垫，分别铺设于该各形状大小相同的研磨台上；以及一分送管，置于该各研磨垫上方，且该分送管未与该各研磨垫相接触。