| 主权项 |
1.一种基板黏结装置,用以将至少两片而每一片均具有一内孔之基板(2.3)加以黏结,该装置具有一与基板内孔配合之销件(1.50),其特征为,该销件具有至少两个相对于该销件(1.50)可径向运动之凸起物(10.51),于该凸起物(10.51),朝着该销件(1.50)运动之同时,该基板之内孔壁即沿着其直线外表面向下滑动。2.根据申请专利范围第1项所述之装置,其特征为,该凸起物(10.51)于基板(2.3)黏结之前将其维持一定距离。3.根据申请专利范围第1项所述之装置,其特征为,该销件(1.50)系为一中心销。4.根据申请专利范围第1项所述之装置,其特征为,该凸起物(10.51)装置于该中心销上而可旋转。5.根据申请专利范围第1项所述之装置,其特征为,至少有一预压机构(12.56)用以向外预压该凸起物(10.51)。6.根据申请专利范围第5项所述之装置,其特征为,该预压机构具有至少一弹簧(12.56)。7.根据申请专利范围第1项所述之装置,其特征为,该凸起物(10.51)经由施加于基板(2.3)上之压力,可朝销件(1.50)运动。8.根据申请专利范围第1项所述之装置,其特征为,有一可径向移动凸起物(10.51)之致动元件(13.78)。9.根据申请专利范围第1项所述之装置,其特征为,该凸起物(51)系设计成杠杆臂。10.根据申请专利范围第8项所述之装置,其特征为,该致动元件(78)可插入凸起物(51)之间。11.根据申请专利范围第8项所述之装置,其特征为,该致动元件(13.78)为圆锥状。12.根据申请专利范围第8项所述之装置,其特征为,该凸起物(51)于其朝该致动元件(78)之一端系为倒圆角。13.根据申请专利范围第5项所述之装置,其特征为,该凸起物(10.51)之预压系可改变。14.根据申请专利范围第1项所述之装置,其特征为,一装置于销件(1)内之圆锥体(13),其承受一预压(15)而可运动。15.根据申请专利范围第14项所述之装置,其特征为,该圆锥体(13)相对于一弹簧(15)而运动。16.根据申请专利范围第14项所述之装置,其特征为,一预压元件(12)装置于圆锥体(13)及凸起物(10)之间。17.根据申请专利范围第14项所述之装置,其特征为,该凸起物(10)上之方向朝外之预压可经由一圆锥体(13)之运动而改变。18.根据申请专利范围第1项所述之装置,其特征为,一将该凸起物(10)向内拉之拉伸元件,其具有一拉力,但不足以克服该凸起物(10)之正常情况下朝向外之预压。19.根据申请专利范围第18项所述之装置,其特征为,该拉伸元件之拉力向内拉着该凸起物(10),同时间朝向外之预压逐步减少。20.根据申请专利范围第18项所述之装置,其特征为,该拉伸元件系一装置于该凸起物(10)上之弹簧垫圈。21.根据申请专利范围第20项所述之装置,其特征为,该弹簧垫圈装置于该凸起物(10)之内圆周。22.根据申请专利范围第1项所述之装置,其特征为,有四个凸起物(10.51)。图式简单说明:图一 根据本发明之一中心销之剖面示意图,其中显示二基板黏结前之状态;图二 根据图一所示之该中心销之剖面示意图,其中显示该等基板之黏结过程;图三 显示该中心销及一用以自销件中取出基板之基板操控装置之剖面示意图;图四 显示一将二基板黏结之制程站,其中包含一根据本发明所述之中心销,且其处于开启状态;图五 显示一类似图四之示图,其中显示二基板于黏结前该制程站处于一闭合之状态;图六 显示一类似图四之示图,其中显示该制程站正处于二基板黏结时之状态;图七 显示一类似图四之示图,二基板黏结之制程站之另一可能方案。 |
