发明名称 电子零件之制造方法及制造装置
摘要 本发明提供一种电子零件之制造方法其中,藉工具(3)在基板(1)压接晶片(2)并加热,透过凸缘(4)连接晶片侧电极(18)与基板侧电极(5),在上模(20)与下模(21)之模具对合面(P.L.)载置基板(1),将闭合上膜(20)与下模(21)形成之模穴(24)透过排气管(25)减压,在模穴(24)注入熔融树脂(26)使之硬化形成密封树脂(8)。按着,以一定之温度环境气体中在测试盘(10)压接基板(1),自测试盘(10)透过外部电极(19)供给一定之电气信号至晶片(2),以检查由基板(1)之单位领域(7)与晶片(2)所构成的电子零件之动作,在假想线(9)切断完成电子零件。根据该方法,成批可精确度良好的树脂密封复数之晶片(2),能烧进复数之电子零件。其结果,在基板(1)安装晶片(2),以树脂密封,烧进形成电子零件时,可效率好的形成密封树脂尺寸精确度正确的电子零件。
申请公布号 TW479013 申请公布日期 2002.03.11
申请号 TW089123509 申请日期 2000.11.07
申请人 东和股份有限公司 发明人 竹原克尚;中川长
分类号 B29C45/02;H01L21/00 主分类号 B29C45/02
代理机构 代理人 恽轶群 台北巿南京东路三段二四八号七楼;陈文郎 台北巿南京东路三段二四八号七楼
主权项 1.一种电子零件之制造方法,系在具有基板(1)之各 个复数领域(7)安装晶片(2),并且藉密封树脂(8)密封 之后分离前述基板,以形成各含前述复数领域其中 之一,前述晶片及前述密封树脂(8)乏电子零件者, 该方法包含有下列步骤: 载置步骤,系在前述复数各个领域载置前述晶片(2) ; 连接步骤,系将前述复数各个领域具有之基板侧电 极(5)与各前述晶片(2)具有之晶片侧电极(8)电连接; 密封步骤,系藉前述密封树脂遍及前述复数之领域 以密封前述基板; 检查步骤,系在分离前述基板之前,为了对前述电 子零件之外部授受电气信号而于前述复数各个领 域设置(10)之外部电极(19),供给一定之检查用电气 信号,以检查各前述电子零件之动作;以及 分离步骤,系将遍及前述复数领域而被树脂密封之 前述基板与在前述复数之各个领域分离。2.如申 请专利范围第1项电子零件之制造方法,其中: 在检查前述电子零件动作之前述步骤中,将遍及前 述复数领域(7)而被树脂密封之前述基板(1)配设于 一定之温度环境中。3.如申请专利范围第1项电子 零件之制造方法,其中: 更包含有形成步骤,系在遍及前述复数领域(7)而被 树脂密封之前述基板(1)之各前述外部电极(19)上, 形成突起状电极(14)。4.如申请专利范围第1项电子 零件之制造方法,其中在以树脂密封前述基板(1)之 前述步骤中包含: 在相互相对之由至少两个金属模(20,21)构成之金属 模组的对合面上载置前述基板, 闭合前述金属模组, 注入熔融树脂至由前述金属模组与前述基板所构 成之模穴(24),使其硬化而形成前述密封树脂。5.如 申请专利范围第4项电子零件之制造方法,其中: 更包含有将前述模穴(24)减压之步骤,且面对已减 压之前述模穴注入前述熔融树脂。6.一种电子零 件之制造装置,系在具有基板(1)之复数各个领域(7) 安装晶片(2),并且藉密封树脂(8)密封之后分离前述 基板,以形成各含前述领域,前述晶片与前述密封 树脂之电子零件者,该电子零件之制造装置包含有 下列装置,即: 结合装置(3),系在前述复数各个领域载置前述晶片 ; 连接装置(3),系将前述各领域具有之基板侧电极(5) 与各前述晶片具有之晶片侧电极(18)电连接; 密封装置,系遍及前述复数之领域以形成前述密封 树脂; 检查装置(10),系为了在对前述电子零件之外部授 受电气信号而面对在前述各领域中设置之外部电 极(19),以检查各前述电子零件之动作为目的而授 受检查用电气信号者;以及 分离装置,系遍及前述复数之领域,而形成有前述 密封树脂之基板分离成前述电子零件者。7.如申 请专利范围第6项电子零件之制造装置,其中: 前述检查装置(10)系将遍及前述复数领域(7),而形 成有前述密封树脂(8)之基板(1)配设于一定温度环 境中之状态,并供给前述一定电气信号至前述外部 电极(19)。8.如申请专利范围第6项电子零件之制造 装置,其中: 更包含有电极形成装置,系于形成有遍及前述复数 领域(7)之前述密封装置(8)之基板(1)中之前述外部 电极(19)上形成突起状电极(14)者。9.如申请专利范 围第6项电子零件之制造装置,其中: 前述密封装置包含有: 金属模组,系包含相互相对之至少含两个金属模(20 ,21);以及 注入装置,用以注入熔融树脂于藉前述金属模组及 载置于该金属模组对合面之前述基板(1)构成之模 穴(24)。10.如申请专利范围第9项电子零件之制造 装置,其中: 前述密封装置更包含有减压装置,用以使前述模穴 (24)减压。图式简单说明: 第1A、1B、1C图系有关于本发明电子零件制造方法 之一实施例其中,在自基板安装晶片树脂密封之后 ,直到在覆盖烧进判定之不良品之密封树脂附加损 坏记号之各步骤将半制品分别表示之斜视图。 第2A、2B图系有关于本发明电子零件制造方法之一 实施例其中,自标识制品符号到切断各个的电子零 件为止之各步骤将半制品分别表示之斜视图,第2C 图表示电子零件之完成品斜视图。 第3A、3B、3C图系有关于本发明电子零件之制造方 法其中,将自安装晶片于基板到树脂密封之各步骤 ,沿着第1A图之IIIA-IIIA线、第1B图之IIIB-IIIB线、第1C 图之IIlC-IIIC线分别表示之断面图。 第4A、4B图系有关于本发明电子零件之制造方法其 中,将自树脂密封后烧进到各个电子零件切断为止 之各步骤沿着第2A图之IVA-IVA线,第2B图之IVB-IVB线分 别表示之断面图。
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