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发明名称
摘要
申请公布号 JP3265530(B2) 申请公布日期 2002.03.11
申请号 JP19970029847 申请日期 1997.01.30
申请人 发明人
分类号 H01L21/302;C23F1/00;H01J37/32;H01L21/306;(IPC1-7):H01L21/306 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
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