| 摘要 |
<p>L'invention concerne une source d'ions à courant en circuit fermé à cathode froide avec séparation de courants gazeux. Le premier gaz peut être mis en circulation à travers ou le long du circuit situé autour d'une partie périphérique de l'anode, de façon à traverser l'espace électrique situé entre l'anode et la cathode. Un second gaz (différent du premier) peut être mis en circulation en direction de la fente d'émission d'ions, sans qu'une grande partie de ce second gaz ne doive traverser le ou les espaces électriques. Si l'on souhaite utiliser un gaz produisant une matière isolante (un gaz organosilicié, par exemple), ce gaz peut être utilisé comme second gaz. Par conséquent, cet appareil permet de réduire la formation de matière isolante dans l'espace électrique situé entre l'anode et la cathode et d'obtenir des changements dans la composition chimique du faisceau sans altérer indûment les caractéristiques du faisceau d'ions.</p> |
