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发明名称 METHOD AND APPARATUS FOR DEPOSITION ON AND POLISHING OF A SEMICONDUCTOR SURFACE
摘要
申请公布号 KR20020018182(A) 申请公布日期 2002.03.07
申请号 KR1020017008502 申请日期 2001.07.03
申请人 发明人
分类号 H01L21/302 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
主权项
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