| 发明名称 |
Thin film forming process |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
AU744858(B2) |
申请公布日期 |
2002.03.07 |
| 申请号 |
AU19980059523 |
申请日期 |
1998.03.25 |
| 申请人 |
CANON KABUSHIKI KAISHA |
发明人 |
MASAAKI IWANI;TAKAO YONEHARA;KAZUAKI OHMI |
| 分类号 |
B26F3/12;B32B43/00;H01L21/20;H01L21/203;H01L21/205;H01L21/30;H01L21/304;H01L21/3063;H01L21/58;H01L21/762;H01L27/12;H01L31/18;(IPC1-7):H01L21/304;H01L21/463 |
主分类号 |
B26F3/12 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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