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发明名称 Micromechanical device having two degrees of motion
摘要
申请公布号 AU8915801(A) 申请公布日期 2002.03.04
申请号 AU20010089158 申请日期 2001.08.24
申请人 IOLON, INC. 发明人 JOHN H JERMAN
分类号 H01S3/1055;H01S5/022;H01S5/14;H02N1/00 主分类号 H01S3/1055
代理机构 代理人
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