发明名称 |
氮化铝烧结体及其制造方法 |
摘要 |
本发明所涉及的氮化铝烧结体,其特征在于含有1—10%(重量)从周期表Ⅲa族元素、Ca、Sr、Ba中选择的至少一种元素的氧化物,0.2-2.0%(重量)碳化硼,0.2%(重量,以Si成分计)以下从SiO<SUB>2</SUB>、Si<SUB>3</SUB>N<SUB>4</SUB>、SiC、Si<SUB>2</SUB>N<SUB>2</SUB>O、β-Sialon、α-Sialon和多型氧化铝(Al-Si-O-N)中选择的至少一种硅化合物,和构成其余部分的氨化铝。按照上述构成,可以抑制AlN烧结体的晶粒生长、使烧结体组织微细化同时增强粒界相与晶粒的结合,从而得到烧结体强度和破坏韧性值均有改善、不损害氛化铝特有的散热特性、机械强度和破坏韧性值均有提高的AlN烧结体。$#! |
申请公布号 |
CN1079785C |
申请公布日期 |
2002.02.27 |
申请号 |
CN96190015.6 |
申请日期 |
1996.06.28 |
申请人 |
株式会社东芝 |
发明人 |
小松通泰;白井隆雄 |
分类号 |
C04B35/58;H01L21/52;H01L23/12 |
主分类号 |
C04B35/58 |
代理机构 |
中国专利代理(香港)有限公司 |
代理人 |
刘元金;杨丽琴 |
主权项 |
1.一种氮化铝烧结体,其特征在于包含1-10重量%的从钇、Ca、Sr、Ba中选择的至少一种元素的氧化物,0.2-2.0重量%碳化硼,以Si成分计为0.01-0.2重量%的从SiO2、Si3N4、SiC、Si2N2O、β-Sialon、α-Sialon和多型氮化铝中选择的至少一种硅化合物,和构成其余部分的氮化铝,并且该氮化铝烧结体的破坏韧性值在3MN/m3/2 以上和三点弯曲强度在450MPa以上。 |
地址 |
日本神奈川县川崎市 |