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发明名称 An ion implantation device
摘要
申请公布号 EP0686995(B1) 申请公布日期 2002.02.27
申请号 EP19950304036 申请日期 1995.06.12
申请人 AXCELIS TECHNOLOGIES, INC. 发明人 HIROKAWA, SUGURU;SINCLAIR, FRANK;DEMARIO, NEIL EVAN
分类号 H01J37/304;H01J37/317;H01L21/687;(IPC1-7):H01J37/317 主分类号 H01J37/304
代理机构 代理人
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