Amorphous fluoropolymer pellicle films,申请号US19890403644-传众专利搜索

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法人/股东/高管

发明名称	Amorphous fluoropolymer pellicle films
摘要
申请公布号	US5061024(C1)	申请公布日期	2002.02.26
申请号	US19890403644	申请日期	1989.09.06
申请人	DUPONT PHOTOMASKS, INC.	发明人	KEYS, DALEN, E.
分类号	C08J5/18;G03F1/14;(IPC1-7):G02B1/04	主分类号	C08J5/18
代理机构		代理人
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