| 摘要 |
<p>본 발명의 필터 웨팅 시스템은 웨팅 용액 공급 배관(P3)을 통해 필터를 웨팅하기 위한 웨팅 용액이 수용된 웨팅 용액 공급부(B1), 질소 공급 배관(P2)을 통해 질소를 공급하는 질소 공급부(12), 초순수 공급 배관(P1)을 통해 초순수를 공급하는 초순수 공급부(11), 질소 공급부(12)로부터 질소 공급 배관(P2)을 통해 질소를 흡입하여 내부에 진공력을 발생시키고, 그 진공력으로 웨팅 용액 공급 배관(P3)을 통해 웨팅 용액 공급부(B1)에 수용된 웨팅 용액을 흡입하는 흡입 장치(20), 유입구(I) 및 제1유출구(O1)를 구비하고, 내부에 필터가 장착되어 유입구(I)를 통해 흡입 장치(20)에서 흡입한 웨팅 용액이 유입되어 필터를 적시고, 유입구(I)로 초순수 공급 배관(P1,P4,P5)을 통해 초순수 공급부(11)로부터 초순수가 유입되어 필터를 적신 웨팅 용액을 초순수로 희석시키는 필터 하우징(F1,F2) 및 필터 하우징(F1,F2)의 제1유출구(O1)에 연결된 배기용 배관(DP1,DP2)를 통해 필터 하우징(F1,F2)에 공급된 웨팅 용액과 초순수를 배출시키는 드레인(13,14)으로 구성된다.</p> |
