| 发明名称 |
PROCEDE ET DISPOSITIF DE CONTROLE EN TEMPS REEL DE L'EPAISSEUR D'UNE COUCHE D'UN CIRCUIT INTEGRE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
FR2801422(B1) |
申请公布日期 |
2002.02.22 |
| 申请号 |
FR19990014723 |
申请日期 |
1999.11.23 |
| 申请人 |
MHS |
发明人 |
CHARPENTIER ALAIN;BOCQUENE DOMINIQUE |
| 分类号 |
H01J37/32;H01L21/66;(IPC1-7):H01L21/66 |
主分类号 |
H01J37/32 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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