| 发明名称 | 衬底升降机构 | ||
| 摘要 | 为了对于带有夹具(10)的衬底升降机构(2)实现尽可能简单地心轴转换,夹具这样构成,通过旋转或摆动夹具本身可以与衬底支架(25)啮合。 | ||
| 申请公布号 | CN1336898A | 申请公布日期 | 2002.02.20 |
| 申请号 | CN00802967.9 | 申请日期 | 2000.01.13 |
| 申请人 | 施蒂格哈马技术股份公司 | 发明人 | P·阿本舍恩;S·赫尔曼 |
| 分类号 | B65H1/14;B23Q7/10;B23Q7/00;H01L21/00 | 主分类号 | B65H1/14 |
| 代理机构 | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人 | 苏娟;赵辛 |
| 主权项 | 1.用于衬底的升降机构(2)，带有一个夹具(10)，其特征为，通过旋转或摆动夹具(10)本身可以与衬底支架(25)啮合，通过衬底支架(25)的运动起到使夹具(10)旋转或摆动的作用。 | ||
| 地址 | 德国斯台恩费尔斯 | ||