感光性组合物与光波导元件及其制造方法

摘要

提供在通信所用波段范围中的透明性高、耐热性、耐水性、耐化学性等特性优良、并可简便形成光栅、容易印入实装模块中的光透过性材料。光透过性材料形成用感光性组合物含有硅烷化合物或其水解·脱水缩合反应物、光引发剂和水。前述硅烷化合物用上述式(1)表示,式中,R¹是具有聚合性C=C双键的有机基,X¹是可水解的基团或原子,而有机基R¹所具有的氢原子的总个数的至少40%用从氘、氟、氯和溴组成的组中选出的至少一种取代原子所取代。

主权项

1.一种光透过性材料形成用感光性组合物，该光透过性材料形成用感光性组合物含有硅烷化合物或其水解·脱水缩合反应物、光引发剂和水，前述硅烷化合物用下述式(1)表示：R1SiX13 …(1)式中，R1是具有聚合性C＝C双键的有机基，X1是可水解的基团或原子，而有机基R1所具有的氢原子的总个数的至少40％用从氘、氟、氯和溴所组成的组选出的至少一种取代原子取代。