发明名称
摘要
申请公布号 JP3258869(B2) 申请公布日期 2002.02.18
申请号 JP19950220765 申请日期 1995.08.29
申请人 发明人
分类号 H01L27/04;H01L21/822;H01L23/58;(IPC1-7):H01L21/822 主分类号 H01L27/04
代理机构 代理人
主权项
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